微光显微镜（关于微光显微镜的简介）

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1、对于故障分析而言，微光显微镜(Emission Microscope,EMMI)是一种相当有用且效率极高的分析工具。

2、主要侦测IC内部所放出光子。

3、在IC元件中，EHP(Electron Hole Pairs)Recombination会放出光子(Photon)。

4、举例说明：在P-N结加偏压，此时N阱的电子很容易扩散到P阱，而P的空穴也容易扩散至N然後与P端的空穴（或N端的电子）做EHP Recombination。

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